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產(chǎn)品詳情

  • 產(chǎn)品名稱(chēng)：晶圓玻璃薄膜厚度測(cè)量?jī)x

  • 產(chǎn)品型號(hào)：C10323-02E
  • 產(chǎn)品廠商：其它品牌
  • 產(chǎn)品文檔：
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簡(jiǎn)單介紹：
HAMAMATSU濱松晶圓玻璃薄膜厚度測(cè)量?jī)xC10323-02E
詳情介紹：

HAMAMATSU濱松晶圓玻璃薄膜厚度測(cè)量?jī)xC10323-02E

應(yīng)用：高速測(cè)量晶圓、玻璃和薄膜的厚度。（測(cè)量范圍：玻璃：1 nm 至 20 μm，硅：0.43 nm 至 8.6 μm）

Optical NanoGauge 膜厚測(cè)量系統(tǒng) C10323 是一種顯微膜厚測(cè)量系統(tǒng)。如果物體具有會(huì)產(chǎn)生高水平散射光的不規(guī)則表面，則無(wú)法在宏觀層面上進(jìn)行測(cè)量。對(duì)于這些類(lèi)型的對(duì)象，測(cè)量小面積會(huì)減少散射光，從而可以進(jìn)行測(cè)量。

C10323-02E 的電源電壓為 AC200 V 至 AC240 V。


特點(diǎn)

  • 微視野厚度測(cè)量
  • 高速度和高精度
  • 分析光學(xué)常數(shù)（n、k）
  • 提供外部控制

詳細(xì)參數(shù)

型號(hào) C10323-02E
可測(cè)量的薄膜厚度范圍（玻璃） 20 nm 至 50 μm①
測(cè)量重現(xiàn)性（玻璃） 0.02 nm②
測(cè)量精度（玻璃） ±0.4%③
光源 鹵素光源
測(cè)量波長(zhǎng) 400 nm 至 1100 nm
光斑尺寸 φ8 μm 至 φ80 μm④
工作距離 請(qǐng)參閱物鏡列表
可測(cè)量層數(shù) *多 10 層
分析 FFT 分析、擬合分析、光學(xué)常數(shù)分析
外部控制功能 RS-232C、PIPE、以太網(wǎng)
接口 USB 2.0
電源 AC200 V 至 AC240 V，50 Hz/60 Hz
功耗 約 250 VA
①當(dāng)以玻璃折射率 1.5 進(jìn)行轉(zhuǎn)換時(shí)。
② 測(cè)量 400 nm 厚玻璃膜時(shí)的標(biāo)準(zhǔn)偏差（容差）。
③ 取決于使用的光學(xué)系統(tǒng)或物鏡放大率。
④ VLSI 標(biāo)準(zhǔn)測(cè)量保證文件中記錄的測(cè)量保證范圍。

尺寸

c10323 外形尺寸圖

 

 

 

a10406-02 外形尺寸圖

a10407-01 外形尺寸圖

 

 

 

a10407-02 外形尺寸圖

l6758-11 外形尺寸圖