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產(chǎn)品詳情
  • 產(chǎn)品名稱:晶圓玻璃薄膜厚度測量儀

  • 產(chǎn)品型號:C10323-02E
  • 產(chǎn)品廠商:其它品牌
  • 產(chǎn)品文檔:
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簡單介紹:
HAMAMATSU濱松晶圓玻璃薄膜厚度測量儀C10323-02E
詳情介紹:

HAMAMATSU濱松晶圓玻璃薄膜厚度測量儀C10323-02E

應(yīng)用:高速測量晶圓、玻璃和薄膜的厚度。(測量范圍:玻璃:1 nm 至 20 μm,硅:0.43 nm 至 8.6 μm)

Optical NanoGauge 膜厚測量系統(tǒng) C10323 是一種顯微膜厚測量系統(tǒng)。如果物體具有會產(chǎn)生高水平散射光的不規(guī)則表面,則無法在宏觀層面上進行測量。對于這些類型的對象,測量小面積會減少散射光,從而可以進行測量。

C10323-02E 的電源電壓為 AC200 V 至 AC240 V。


特點

  • 微視野厚度測量
  • 高速度和高精度
  • 分析光學(xué)常數(shù)(n、k)
  • 提供外部控制

詳細參數(shù)

型號 C10323-02E
可測量的薄膜厚度范圍(玻璃) 20 nm 至 50 μm
測量重現(xiàn)性(玻璃) 0.02 nm
測量精度(玻璃) ±0.4%
光源 鹵素光源
測量波長 400 nm 至 1100 nm
光斑尺寸 φ8 μm 至 φ80 μm
工作距離 請參閱物鏡列表
可測量層數(shù) *多 10 層
分析 FFT 分析、擬合分析、光學(xué)常數(shù)分析
外部控制功能 RS-232C、PIPE、以太網(wǎng)
接口 USB 2.0
電源 AC200 V 至 AC240 V,50 Hz/60 Hz
功耗 約 250 VA
①當(dāng)以玻璃折射率 1.5 進行轉(zhuǎn)換時。
② 測量 400 nm 厚玻璃膜時的標(biāo)準偏差(容差)。
③ 取決于使用的光學(xué)系統(tǒng)或物鏡放大率。
④ VLSI 標(biāo)準測量保證文件中記錄的測量保證范圍。

尺寸

c10323 外形尺寸圖

 

 

 

a10406-02 外形尺寸圖

a10407-01 外形尺寸圖

 

 

 

a10407-02 外形尺寸圖

l6758-11 外形尺寸圖