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產(chǎn)品詳情
  • 產(chǎn)品名稱(chēng):晶圓玻璃薄膜厚度測(cè)量?jī)x

  • 產(chǎn)品型號(hào):C13027-12
  • 產(chǎn)品廠商:其它品牌
  • 產(chǎn)品文檔:
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簡(jiǎn)單介紹:
HAMAMATSU濱松晶圓玻璃薄膜厚度測(cè)量?jī)xC13027-12
詳情介紹:

HAMAMATSU濱松晶圓玻璃薄膜厚度測(cè)量?jī)xC13027-12

應(yīng)用:高速測(cè)量晶圓、玻璃和薄膜的厚度。(測(cè)量范圍:玻璃:1 nm 至 20 μm,硅:0.43 nm 至 8.6 μm)

Optical NanoGauge 膜厚測(cè)量系統(tǒng) C13027 是一種利用光譜干涉法的非接觸式膜厚測(cè)量系統(tǒng)。C13027 不僅支持 PLC 連接,而且比其他型號(hào)更緊湊,易于安裝到設(shè)備中。我們的 Optical Gauge 系列能夠測(cè)量低至 10 nm 的極薄薄膜的厚度,并覆蓋從 10 nm 到 100 μm 的寬范圍薄膜厚度。Optical Gauge 系列還可快速測(cè)量高達(dá) 200 Hz 的功率,因此是高速生產(chǎn)線測(cè)量的理想選擇。


特點(diǎn)

  • 支持 PLC 連接
  • 縮短周期時(shí)間(*高 200 Hz)
  • 能夠測(cè)量 10 nm 薄膜
  • 同時(shí)測(cè)量厚度和顏色
  • 縮小尺寸(與 C12562 相比,其安裝面積減少 30%)
  • 涵蓋寬波長(zhǎng)范圍(400 nm 至 1100 nm)
  • 軟件中添加了簡(jiǎn)化的測(cè)量
  • 能夠同時(shí)進(jìn)行表面分析
  • **測(cè)量起伏不定的薄膜
  • 分析光學(xué)常數(shù)(n、k)
  • 映射功能

詳細(xì)參數(shù)

型號(hào) C13027-12
可測(cè)量的薄膜厚度范圍(玻璃) 10 nm 至 100 μm*1
測(cè)量重現(xiàn)性(玻璃) 0.02 nm*2 *3
測(cè)量精度(玻璃) ±0.4%*3 *4
光源 鹵素光源
測(cè)量波長(zhǎng) 400 nm 至 1100 nm
光斑尺寸 約 Φ1 mm*3
工作距離 10 mm*3
可測(cè)量層數(shù) *多 10 層
分析 FFT 分析、擬合分析、光學(xué)常數(shù)分析、顏色分析
測(cè)量時(shí)間 3 ms/point*5
光纖連接器形狀 FC
外部控制功能 RS-232C,以太網(wǎng)
電源 AC100 V 至 AC240 V,50 Hz/60 Hz
功耗 約 80 VA
●輸出信號(hào)
模擬輸出:0 V 至 10 V/高阻抗 3 通道(*多 3 層)
警報(bào)輸出:TTL/高阻抗單通道
警告輸出:TTL/高阻抗單通道
●輸入信號(hào)
測(cè)量開(kāi)始信號(hào):TTL/高阻抗單通道

*1 當(dāng)以玻璃折射率 1.5 進(jìn)行轉(zhuǎn)換時(shí)。
*2 測(cè)量 400 nm 厚玻璃膜時(shí)的標(biāo)準(zhǔn)偏差(公差)。
*3 取決于使用的光學(xué)系統(tǒng)或物鏡放大率。
*4 VLSI 標(biāo)準(zhǔn)測(cè)量保證文件中記錄的測(cè)量保證范圍。
*5 *短曝光時(shí)間。

尺寸

c13027 外形尺寸圖

 

 

 

兩分叉光導(dǎo)外形尺寸圖

a10192-10 外形尺寸圖